Rp 500.000
DESKRIPSI LAYANAN | Dektak Profiler adalah alat metrologi presisi yang digunakan untuk mengukur profil permukaan, ketebalan lapisan tipis, dan kekasaran material pada skala nanometer hingga mikrometer. Alat ini bekerja dengan prinsip stylus profilometry, di mana ujung jarum…
- Lab Karakterisasi Nuklir - Sub Laboratorium Bahan Maju Nuklir
- Direktorat Pengelolaan Laboratorium, Fasilitas Riset, dan Kawasan Sains dan Teknologi
- KST Serpong (Bacharuddin Jusuf Habibie)
Gd. 71 KST BJ Habibie, Kel. Muncul, Kec. Setu, Kota Tangerang Selatan 15314 - 08119811572
- labrads@brin.go.id
Marketing Office
Deputi Bidang Infrastruktur Riset dan Inovasi BRIN
layanan_sains@brin.go.id
Dektak Profiler adalah alat metrologi presisi yang digunakan untuk mengukur profil permukaan, ketebalan lapisan tipis, dan kekasaran material pada skala nanometer hingga mikrometer.
Alat ini bekerja dengan prinsip stylus profilometry, di mana ujung jarum (stylus) bergerak melintasi permukaan sampel dan mendeteksi perubahan ketinggian dengan resolusi tinggi. Dektak Profiler banyak digunakan dalam industri semikonduktor, manufaktur optik, dan penelitian material untuk menganalisis kualitas permukaan dan karakteristik topografi dengan akurasi tinggi.
Layanan ini hanya menerima standard scan atau pengukuran ketebalan film.
Spesifikasi alat:
1. Model DEKTAK XT,
2. Maximum scan length 1 cm,
3. Height limit: 500 um - 5 nm,
4. Stylus radius: 2 um or 12.5 um,
5. Stylus force: 1 - 15 mg, dan
6. Resolusi scan standard: 0.1 um/pt.
Syarat Sampel :
1. Sampel padat (bentuk bulk atau film),
2. Permukaan sampel harus cukup keras, karena akan berkontak dengan stylus (Jika permukaan sampel lunak sampel akan tergores).
3. Sampel harus memiliki step (lembah atau gunung), dengan panjang lateral lebih dari radius stylus tip,
File hasil pengukuran yang diberikan untuk pendaftaran 1 sampel: 1. File data mentah: Hasil scan 3 titik pengukuran, 2. File report: Data hasil leveling *disclaimer: Pengolahan data leveling yang dilakukan dengan metode standar hanya sebagai acuan.
Lebih lanjut, pengolahan data dapat dilakukan secara mandiri dari data txt yang diterima. Syarat Pengajuan: - File Data Foto - File F-10
*Lokasi: (Gd.71 Lantai 1 KST BJ Habibie Serpong)
Syarat Pengajuan:
Alat ini bekerja dengan prinsip stylus profilometry, di mana ujung jarum (stylus) bergerak melintasi permukaan sampel dan mendeteksi perubahan ketinggian dengan resolusi tinggi. Dektak Profiler banyak digunakan dalam industri semikonduktor, manufaktur optik, dan penelitian material untuk menganalisis kualitas permukaan dan karakteristik topografi dengan akurasi tinggi.
Layanan ini hanya menerima standard scan atau pengukuran ketebalan film.
Spesifikasi alat:
1. Model DEKTAK XT,
2. Maximum scan length 1 cm,
3. Height limit: 500 um - 5 nm,
4. Stylus radius: 2 um or 12.5 um,
5. Stylus force: 1 - 15 mg, dan
6. Resolusi scan standard: 0.1 um/pt.
Syarat Sampel :
1. Sampel padat (bentuk bulk atau film),
2. Permukaan sampel harus cukup keras, karena akan berkontak dengan stylus (Jika permukaan sampel lunak sampel akan tergores).
3. Sampel harus memiliki step (lembah atau gunung), dengan panjang lateral lebih dari radius stylus tip,
File hasil pengukuran yang diberikan untuk pendaftaran 1 sampel: 1. File data mentah: Hasil scan 3 titik pengukuran, 2. File report: Data hasil leveling *disclaimer: Pengolahan data leveling yang dilakukan dengan metode standar hanya sebagai acuan.
Lebih lanjut, pengolahan data dapat dilakukan secara mandiri dari data txt yang diterima. Syarat Pengajuan: - File Data Foto - File F-10
*Lokasi: (Gd.71 Lantai 1 KST BJ Habibie Serpong)
Syarat Pengajuan:
- File Data Foto
- File Dukung Lainnya
| Nama Berkas | Ukuran Berkas | |
|---|---|---|
| Berkas SOP Layanan | 0.18 MB | |
| Template File Data Foto | 0 MB | |
| Template File Dukung Lainnya | 0 MB |
